超纯水是在纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm极限值。超纯水是一般工艺很难达到的程度，可以将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、EDI技术，离子交换技术中的两种及以上的技术，通过合理的工艺设计，设备选型，方可制造出超纯水，电阻率可达18.20MΩ*cm。
1.电导率不同，纯水电导率在2-10us/cm之间，超纯水的电导率为0.056us/cm；
2.制造的难易程度不同，市场上使用的纯水基本上都是经过反渗透、蒸馏等方法制得，而超纯水是在纯水的基础上还要经过光氧化技术、精处理和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的。
3.重金属、细菌、微粒数等指标也大不相同，纯水杂质含量是ppm级，而超纯水为ppb级，简单地说超纯水中已经没有什么杂质，接近于理论上的水。
4.使用的领域也不相同；
5.对输送管道材质的要求也不相同，超纯水对输送管道材质的要求要比纯水严格的多。
