二氧化氯可由氯酸钠制取，在饮用水处理和工业冷却水处理中作用的也很多。氯酸钠有爆炸危险，应慎重使用。臭氧用净化过的空气经高压放电装置制取，目前有中小型臭氧发生器用于小区供水或中央空调冷却水系统的灭菌，同样适用于反渗透装置的灭活处理，多余的臭氧同样可以用活性炭吸收处理。
在反渗透水处理工艺过程当中，除了运转中的杀菌以外，还需要在设备停用中的杀菌问题。通常在停机48小时以内可以用原水进行冲洗，超过48小时可用1.5%亚硫酸氢钠液进行封存，达到2周的周期时要使用甲醛消毒液杀菌，千万不可用市售的84消毒液对膜元件进行杀菌，这样会对膜元件产生损害。
